行業(yè)轉(zhuǎn)型，TOPCon電池率先實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)：隨著PERC電池量產(chǎn)效率逐漸接近其理論效率，行業(yè)開(kāi)始轉(zhuǎn)向TOPCon/HJT等N型電池。而TOPCon電池以其電池效率高、設(shè)備投 資成本低、與PERC產(chǎn)線(xiàn)兼容性高等優(yōu)點(diǎn)，率先實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，截止目前，TOPCon已投產(chǎn)69.75GW，規(guī)劃待建產(chǎn)能近474GW。

TOPCon存在工藝路線(xiàn)之爭(zhēng)。TOPCon電池與PERC電池核心差異在于，新增隧穿氧化層，以及摻雜多晶硅層。以多晶硅層制備方法，TOPCon工藝路線(xiàn)分為L(zhǎng)PCVD/PECVD/PVD路線(xiàn)。從工業(yè)應(yīng)用角度看，摻雜多晶硅層制備方法，要求工藝簡(jiǎn)單、產(chǎn)能大；隧穿氧化層因其對(duì)電池整體性能影響十分關(guān)鍵，要求工藝制備的膜層致密度高、均勻性好。

從技術(shù)角度看，PECVD法能實(shí)現(xiàn)LPCVD法同等制備效果，且清洗繞鍍簡(jiǎn)單，工藝精簡(jiǎn)、良率預(yù)期更高。LPCVD路線(xiàn)技術(shù)成熟，但有嚴(yán)重繞鍍、原位摻雜難等問(wèn)題。因繞鍍，LPCVD設(shè)備需增加一倍設(shè)備；PVD路線(xiàn)，根據(jù)ISFH研究觀點(diǎn)，PVD鈍化效果略差。且實(shí)際運(yùn)行中，維護(hù)頻率高，開(kāi)機(jī)率低；而PECVD路線(xiàn)輕微繞鍍、且清洗容易，可原位摻雜、工藝精簡(jiǎn)，爆膜問(wèn)題可通過(guò)電池背面微制絨解決。隧穿氧化層質(zhì)量對(duì)電池效率影響至關(guān)重要。文獻(xiàn)數(shù)據(jù)顯示：從膜層密度角度看，PECVD制備的氧化層密度（2.2g/cm3）要優(yōu)于LPCVD（2.15g/cm3）；從膜層均勻性角度看，PECVD法制備的氧化層粗糙度1.38nm，與LPCVD制備的氧化層粗糙度1.36nm相當(dāng)。

從經(jīng)濟(jì)性角度看，PECVD路線(xiàn)設(shè)備投 資成本低、產(chǎn)能大、維護(hù)成本低、開(kāi)機(jī)率高。根據(jù)皇氏集團(tuán)機(jī)構(gòu)調(diào)研紀(jì)錄表，（1）PE路線(xiàn)比LP路線(xiàn)設(shè)備采購(gòu)成本少；（2）PE路線(xiàn)工藝時(shí)間短，單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能大，設(shè)備機(jī)臺(tái)數(shù)量少，省空間，設(shè)備好布局；（3）維護(hù)成本對(duì)比：LP路線(xiàn)石英管壽命平均56天，石英舟壽命60天，石英件消耗162萬(wàn)/臺(tái)/年，PE路線(xiàn)石英管壽命1-2年，只有正常的石墨舟消耗，LP設(shè)備的石英件消耗比PE設(shè)備費(fèi)用預(yù)計(jì)多出3530萬(wàn)/年（5GW計(jì)）；（4）設(shè)備人員配置上，LP路線(xiàn)估計(jì)是PE路線(xiàn)的一倍以上，每天在做維護(hù)換石英管，且設(shè)備利用率較低，更換石英管需要3-4小時(shí)，期間整臺(tái)設(shè)備需停機(jī)。

結(jié)論：我們認(rèn)為工藝穩(wěn)定后，PECVD成為T(mén)OPCon主流工藝，推動(dòng)TOPCon大規(guī)模量產(chǎn)。建議關(guān)注：光伏整線(xiàn)設(shè)備龍 頭捷佳偉創(chuàng)（公司推出PE-Poly，即采用PECVD路線(xiàn)）、光伏激光設(shè)備龍頭帝爾激光。